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用PVD離子源技術制備類金剛石膜研究

用PVD離子源技術制備類金剛石膜研究

2022-03-22

由于類金剛石(DLC)膜具有許多與金剛石相似或相近的優良性能,如硬度高、彈性模量高、摩擦因數低、生物相溶性好、聲學性能好、電學性能佳等。因此在工業各領域都有極大的應用前景...

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Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC梯度膜層的研究

Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC梯度膜層的研究

2022-02-22

引言 類金剛石膜DLC具有優異機械力學性能,如高硬度、低摩擦因數、化學穩定性及高楊氏模量等。目前類金剛石在各種工模具及滑動部件上的應用受到了極大的關注。為了沉積得到附著...

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真空DLC類金剛石膜的性能及其在模具上的應用

真空DLC類金剛石膜的性能及其在模具上的應用

2022-02-10

1、前言 類金剛石,英文為Diamond-like Carbon,簡稱DLC,它是一類性能非常類似于金剛石的非晶碳膜。它具有和金剛石相似的性能,如高硬度、低摩擦系數、高彈性模量、高電阻率、良好的...

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沉積工藝參數對AlN薄膜擇優取向影響的實驗研究

沉積工藝參數對AlN薄膜擇優取向影響的實驗研究

2022-01-18

多年前,具有低的插入損耗與高的帶外抑制的小型化高頻率器件成為研究熱點,尤其在高頻移動通信領域。聲表面波(SAW)器件有著優良的特性在高頻通信領域有著廣闊的應用前景。在制...

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鈦合金表面摻金屬類金剛石薄膜的摩擦磨損性能研究

鈦合金表面摻金屬類金剛石薄膜的摩擦磨損性能研究

2023-02-10

鈦合金表面摻金屬類金剛石薄膜的摩擦磨損性能研究 鈦合金強度高、密度低及耐腐蝕性能好且在中等溫度下機械性能穩定,已廣泛用于航天、航空、化工及生物醫療等領域,但鈦合金的...

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