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超聲波清洗對(duì)PVD涂層質(zhì)量的影響

發(fā)布時(shí)間:2019-05-22
  清洗是通過(guò)化學(xué)或(及)物理的方法將工件上的油污、銹跡、灰塵等去除干凈,確保工件獲得較好的涂層結(jié)合力和生產(chǎn)的順利進(jìn)行。清洗是PVD涂層前必不可少的一道工序,也是PVD涂層生產(chǎn)中最重要的工藝,清洗出了問(wèn)題,涂層生產(chǎn)不得不延遲、涂層過(guò)程可能中斷、或涂層結(jié)合力出現(xiàn)問(wèn)題而導(dǎo)致客戶投訴和賠償,尤其是在涂層設(shè)備的技術(shù)能力不高的情況下,清洗出了問(wèn)題,更容易發(fā)生上述風(fēng)險(xiǎn)。

  有四個(gè)因素影響著清洗的質(zhì)量,分別為:清洗時(shí)間、化學(xué)藥劑、機(jī)械作用以及清洗液溫度,這四個(gè)因素之間也相互影響,一個(gè)因素的減弱,可以通過(guò)增強(qiáng)另外三個(gè)因素的作用來(lái)彌補(bǔ),反之亦然。在這四個(gè)因素中,清洗時(shí)間的最小化也是追求的目標(biāo),這樣可以提高清洗的效率.縮短生產(chǎn)時(shí)間和交貨周期。

  清洗主要方法和步驟應(yīng)包括:化學(xué)藥劑噴淋、化學(xué)藥劑浸泡與超聲波清洗、漂洗、烘干。

  1)化學(xué)藥劑噴淋

  噴淋對(duì)于清洗來(lái)說(shuō)非常有效,它能夠清除掉工件上絕大部分油污及污染物。尤其對(duì)有孔工件來(lái)說(shuō),更加有效,噴淋到工件上的化學(xué)藥劑會(huì)流入孔中或化學(xué)藥劑被直接噴進(jìn)孔中對(duì)孔內(nèi)壁進(jìn)行沖洗。所以清洗裝卡時(shí),一定要讓工件都能被噴淋到。另外,如果噴淋到工件上的化學(xué)藥劑不能及時(shí)馬上流走,會(huì)阻礙新鮮的化學(xué)藥劑繼續(xù)清洗工件,且在后面的烘干步驟中也不易烘干,所以裝卡時(shí),要保證流到工件上的藥劑能自然流走。

  2)化學(xué)藥劑浸泡與超聲波清洗

  超聲波是一種人所感覺(jué)不到的聲波,同時(shí)也是一種機(jī)械波,它在液體中會(huì)形成高壓區(qū)和低壓區(qū)(壓力低于大氣壓),超聲波在低壓區(qū)產(chǎn)生幾百萬(wàn)個(gè)氣穴效應(yīng)氣泡,這些氣泡逐漸增大,并在大到一定時(shí)突然向內(nèi)破裂,釋放出巨大的能量而撞擊工件,從而對(duì)工件表面起到“微型刷子”的清潔作用,這種“微刷”的頻率很高,用于清洗的超聲波頻率在20000到50000赫茲之間。

  由于超聲波在傳遞過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生低壓區(qū)和高壓區(qū),并且氣穴現(xiàn)象只在低壓區(qū)發(fā)生。所以被清洗工件在超聲波中需要上下振動(dòng),使工件上的每個(gè)區(qū)域都經(jīng)過(guò)低壓區(qū)以獲得“微型刷子”的清潔作用。超聲波在水中的傳遞速度為1500m/s,假設(shè)超聲渡的頻率為30000Hz,則所使用的超聲渡波長(zhǎng)

  λ=速度/頻率=1500/30000=0.05m=5cm

  所以,如使用30000Hz的超聲波,工件的上下振動(dòng)距離應(yīng)不小于5厘米.對(duì)于其他頻率的超聲波.震動(dòng)距離可以同理計(jì)算出來(lái)。在純粹的化學(xué)藥劑浸泡清洗中,清洗溶液首先溶解工件最表層的污染物,并逐漸向污染層內(nèi)部滲透溶解,在這個(gè)過(guò)程中,在工件表層會(huì)逐漸形成一層溶解飽和層.這層飽和層將新鮮的化學(xué)清洗液與深層的污染物隔離,阻礙清洗液對(duì)深層污染物的繼續(xù)溶解,如果這層飽和層不能被破壞去掉,清潔就停止了。對(duì)于比較臟的工件,純粹的浸泡清洗方式很難將工件徹底清潔干凈。利用超聲波的“微型刷子”的作用就可以破壞掉表層的溶解飽和層,新的化學(xué)藥劑到達(dá)較深的污染層繼續(xù)溶解,超聲波接著繼續(xù)破壞掉新形成的溶解飽和層,如此循環(huán),清潔不斷進(jìn)行下去,直到工件被清潔干凈。

  3)漂洗

  漂洗是為了將殘留在工件上的清洗液或其他臟物徹底清理干凈,使工件在烘干之前更加干凈。工件上的殘留物在烘干后將很難清理干凈。在工業(yè)領(lǐng)域中.通常使用去離子水來(lái)進(jìn)行漂洗,用去離子水而不用自來(lái)水進(jìn)行漂洗.可避免自來(lái)水中的雜質(zhì)及污染物殘留在工件上。但是,去離子水的侵蝕性強(qiáng),會(huì)對(duì)工件造成腐蝕。所以,必須在去離子水中加入一定量的防銹劑,才能用來(lái)漂洗工件.以防止工件在漂洗及烘干過(guò)程中被銹蝕。

  4)烘干

  清洗完的工件一般放入烤箱中烘干,烤箱包括箱體、排水管路、加熱系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)及溫度控制系統(tǒng)。永的沸騰、汽化溫度為100℃,因而烘烤溫度必須大于100℃,最好在110℃~130℃之間,這樣既可以將水分快速蒸發(fā)烘干工件.又不至于烘干后,工件溫度太高而需要很長(zhǎng)時(shí)間冷卻。

  

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